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硅生长过程中磁场对流场及提拉速率的影响
【机构】 中国科学院力学研究所；
【摘要】 <正>通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomenaprogram)程序模拟了工业8in单晶硅生长过程。数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长
- 【会议录名称】 庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）
- 【会议名称】庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007
- 【会议时间】2007-08-20
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O35
- 【主办单位】中国力学学会