AFM针尖压入测量中的非线性效应

【作者】 徐金明； 白以龙；

【机构】 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室(LNM)；

【摘要】 <正>近年来原子力显微镜越来越多地应用于表面形貌的测量和表面力学性能的研究中,通常情况下我们使用原子力显微镜测表面形貌或力-位移曲线时都直接使用厂家给的转换系数,将测量电压按线性关系来计算悬臂梁的挠度。研究表明悬臂梁挠度与作用力关系,光斑移动与输出电压关系等都不是完全的线性关系,这种非线性效应使得按照上述方法推算得到的结果并不一定完全可靠。首先介更多还原