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甚高频激发容性耦合等离子体的放电特性
【机构】 薄膜材料江苏身重点实验室苏州大学；
【摘要】 <正>1、引言2、容性耦合等离子体实验装置3、甚高频耦合放电的外部电学测量4、甚高频耦合放电的内部电学测量1、引言超细线宽尺寸的介质刻蚀需要等离子体密度和离子轰击能量的独立控制,从而提供较宽的表面刻蚀工艺窗口。
- 【会议录名称】 第十三届全国等离子体科学技术会议论文集
- 【会议名称】第十三届全国等离子体科学技术会议
- 【会议时间】2007-08-20
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】O53
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会、中国物理学会等离子体分会