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集成式石英谐振器尺寸结构分析及实验
【机构】 北京信息工程学院传感器技术研究中心；
【摘要】 利用石英晶振的能限理论和归一化判据对单基集成晶振的电极结构进行了分析,并对不同电极结构的晶振振动特性进行了分析。结果表明理论分析和实验结果一致,并得出了10MHzAT切的单基集成晶振的最佳结构。根据该结构设计的差频式石英谐振传感器的温度特性得到了较大的改善。
【基金】 北京市科技发展项目(KM200610772009);北京市高校学术创新团队项目(51050031)
- 【会议录名称】 第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集
- 【会议名称】第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
- 【会议时间】2006-12-14
- 【会议地点】中国浙江杭州
- 【分类号】TN752.2
- 【主办单位】中国力学学会（The Chinese Society of Theoretical and Applied Mechanics）、中国声学学会（The Acoustic Society of China）、IEEE UFFC