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浅析靶材分子在玻璃表面的沉积

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【作者】 郭明； 王秀丽；

【机构】 洛玻集团洛阳晶润镀膜玻璃有限公司；

【摘要】 通过试验数据和理论分析,详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面,形成均匀的膜层及其价值。

  • 【会议录名称】 TFC’07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
  • 【会议名称】TFC’07全国薄膜技术学术研讨会
  • 【会议时间】2007-08
  • 【会议地点】中国甘肃兰州
  • 【分类号】TB304
  • 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、中国航天科技集团公司五一○研究所、表面工程技术国家级重点实验室
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