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氧为促进剂下马来酸酐与降冰片烯的自由基共聚反应研究

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【作者】 刘宾元毛彦科王弋戈王亚琴闫卫东章文君

【机构】 河北工业大学高分子科学与工程系

【摘要】 <正>马来酸酐与降冰片烯共聚物是下一代微电子193nm 光刻技术应用的光刻胶。可以一般通过自由基共聚反应制备,一般说来,氧是自由基聚合的抑制剂;但是在本体系中,氧不仅没有抑制反应的进行,相反在聚合反应过程中起促进作用,有利于聚合反应的进行。我们研

【关键词】 自由基共聚降冰片烯193nm
  • 【会议录名称】 2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)
  • 【会议名称】2007年全国高分子学术论文报告会
  • 【会议时间】2007-10
  • 【会议地点】中国四川成都
  • 【分类号】O631.5
  • 【主办单位】中国化学会高分子学科委员会
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