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热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究

Investigation on the Performance of Spin Valve Magnetic Sensor with Thermal Stability

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【作者】 郑洋； 曲炳郡； 叶双莉； 李伟； 任天令； 刘理天；

【Author】 ZHENG Yang QU Bing-jun YE Shuang-li LI Wei REN Tian-ling LIU Li-tian (Institute of Microelectronics of Tsinghua University,Beijing 100084,China)

【机构】 清华大学微电子所；

【摘要】 对一种 Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta 结构的顶钉扎自旋阀进行了优化。对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响。最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10．5%的 GMR 自旋阀。

【Abstract】 A top-pinned giant magnetorisistive(GMR) spin-valve with a structure of Ta/NiFeCr/ CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta was optimized.The influence of each layer in this spin-valve was ana- lyzed,and some experiments upon the function of layer thickness on the magnetoresistance were done.Finally,a structure with GMR ratio of 10.5% was obtained,even under 80℃.

【关键词】 巨磁电阻； 自旋阀； 磁传感器；
【Key words】 giant magnetoresistance； spin valve； magnitic sensor；
  • 【会议录名称】 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
  • 【会议名称】第十届全国敏感元件与传感器学术会议
  • 【会议时间】2007-08
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】TP212
  • 【主办单位】全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
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