【作者】 崔旭梅； 王军； 刘国钦； 陶伯万； 李言荣；

【Author】 CUI Xu-mei~1 WANG Jun~1 LIU Guo-qing~1 TAO Bo-wan~2 LI Yan-rong~2 (1.Department of Material Science and Engineering,Panzhihua University,Panzhihua 617000,China; 2.State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China (UESTC),Chengdu 610054,China)

【机构】 攀枝花学院材料工程系； 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；

【摘要】 目前,三氟乙酸-金属有机沉积（简称 TFA-MOD）方法是制备 YBa₂Cu₃O_7-δ（简称 YBCO）涂层导体最有应用前景的方法之一。系统地研究了 TFA-MOD 过程中低温热处理条件（升温速率和气氛） 对在 LaAlO₃单晶基片上生长的 YBCO 薄膜的影响．研究结果表明,低温热处理的气氛为纯 O₂时,200～250℃区间的分解速度不能太快,否则 YBCO 薄膜就不均匀和致密,薄膜中会出现较多的孔洞,薄膜的面外取向性也较差,从而影响薄膜的超导性能,然而过慢的分解速度也会使薄膜表面有较大的 CuO 析出物。分解速度为 0．08℃/min 时才可以得到结构和超导性能良好的 YBCO 薄膜．同时研究也发现在低温热处理过程中如果采用 Ar 和2．5%O₂混合气氛则可以减弱三氟乙酸盐分解的剧烈程度,从而使低温热处理的分解速度提高到 0．8℃/min,得到的 YBCO 薄膜同样具有较好的面外取向性和超导性能．更多还原

【Abstract】 TFA-MOD is one of the most promising methods for depositing YBCO films.In this paper,the influence of calcinin（?） condition on the growth of YBCO films deposited on （00l） LaAlO₃ with this method was investigated.The results show that th（?） heating rate of 0.08℃/min during calcination under O₂ atmosphere in 200～250℃ temperature range could result in smooth an（?） uniform YBCO films,while a faster heating rate result in rough film decorated with micron-scale pores together with ba（?） out-of-plane orientation and a slower heating rate leads to bigger CuO segregation.The results also show that the calcinatic（?） with Ar+2.5%O₂ mixed atmosphere could weaken the explosive decomposition reaction and the heating rate could be 0.8℃/mi（?） at the same time we are able to get high electrical performance YBCO films with good out-of-plane orientation.更多还原