节点文献

光敏性杂化SiO2波导薄膜的制备、表征及应用

Fabrication,characterization and application of photosensitive hybrid SiO2 optical waveguide thin film

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 王玥； 吴远大； 李建光； 安俊明； 王红杰； 张家顺； 尹小杰； 胡雄伟；

【Author】 WANG Yue WU Yuan-da LI Jian-guang AN Jun-ming WANG Hong-jie ZHANG Jia-shun YIN Xiao-jie HU Xiong-wei (R&D Center of Optoelectronics,Institute of Semiconductors of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China)

【机构】 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心；

【摘要】 利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶（sol-gel）SiO2材料,在预生长了18μm 厚的 SiO2上包层的硅基片上旋涂成膜．经前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm×5μm 的扫描范围内的表面粗糙度只有0．266nm, 表面起伏度只有0．336nm．利用紫外光直写技术,制作出条形波导器件．SEM 照片表明波导端面形状较好,侧壁陡直．对1×4多模干涉型分束器进行初步的通光测试,观察到分光效果较好的近场输出图像．

【Abstract】 Photosensitive sol-gel SiO2 materials were synthesized by organic-inorganic hybrid method,and were spun on silicon substrate.After the process of prebaking,UV-light exposure and postbaking,the surface of as-deposited fill was very smooth,with roughness just 0.266nm and undulation just 0.336nm in a 5μm×5μm scanning square.The strip optical waveguides and 1×4 MMI splitter were fabricated by the means of UV-light imprinting technology,with good-shape section and steep sidewalls.Good mode profile for the splitter was measured.

【关键词】 溶胶-凝胶； 紫外光直写； 杂化； 光波导； 分束器；
【Key words】 sol-gel； UV-lightimprinting； hybridization； optical waveguide； splitter；
【基金】 国家自然科学基金(60507006；60477035)
  • 【会议录名称】 第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（1）
  • 【会议名称】第六届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】2007-11
  • 【会议地点】中国湖北武汉
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】重庆仪器材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料分会、国家仪表功能材料工程技术研究中心
打印本页
节点文献中：