Li-N共掺p型ZnO的制备和形成机制

【作者】 姚斌； 王相虎； 申德振； 丛春晓； 吕有明； 李炳辉； 张振中； 张吉英； 赵东旭； 范希武；

【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所；

【摘要】 稳定,高质量 p 型 ZnO 的制备近年来一直是 ZnO 研究中的关键问题。N 和 Li 都是 ZnO 的 p 型掺杂元素,但 N 单掺杂获得的 p 型 ZnO 存在电学性能的不稳定型,而 Li 单掺容易形成 Li 间隙施主,对 Li 替代 Zn 受主补偿,因此不利于 p 型 ZnO 的获得。本工作将采取 Li-N 共掺的方法制备稳定和电学性能好的 p 型 ZnO 薄膜并对其形成机制进行研究。更多还原