Kintic Monte Carlo对薄膜内部结构的研究

【作者】 郑小平； 张佩峰； 范多旺； 李廉； 郝远； 贺德衍；

【机构】 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室； 兰州大学； 兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室；

【摘要】 本文用Kintic Monte Carlo方法研究了薄膜的生长机理,建立了一个比较合理的三维模型, 并对激活能的计算给出了比较合理的方法。首次定义了表征薄膜内部致密程度的物理量“相对密度”,并且重点计算模拟了“相对密度”随衬底温度、入射率、薄膜平均厚度的变化关系。结果表明, 随着衬底温度的升高,薄膜相对密度md逐渐增大,当达到相对密度的饱和温度Td时,md趋近于 1。随着入射率的增大,相对密度的饱和温度Td不断增大。随着薄膜厚度的增加,相对密度逐渐减小,特别是在膜较薄、入射率较大、衬底温度较低时,这种下降趋势更加明显。当膜较厚时,下降趋势逐步平缓。更多还原