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采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
【作者】 张旭； 王耀辉； 吴先映； 李强； 张荟星； 张孝吉；
【机构】 北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心；
【摘要】 采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含 Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管磁场和在有过滤磁场存在条件下不同的 C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律。实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜。C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响。增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加。
- 【会议录名称】 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、粒子加速器学会高压专业组、北京电机工程学会加速器专业委员会