节点文献

复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C／DLC膜性能研究

The properties research of Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC film which prepared by composite ion plating

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 马胜歌； 于大洋； 杨宏伟； 张以忱；

【Author】 Ma Sheng-ge, Yu Da-yang,Yang Hong-wei, Zhang Yi-chen (National R&D center for surface engineering of China, Shenzhen, 518029, China; Northeastern University, Shenyang, 10004, China)

【机构】 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心； 东北大学；

【摘要】 将中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺结合起来制备了Cr+Ti+TiNC／TiNC+C／DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的DLC,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好。

【Abstract】 The hard film Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC has been prepared by combining unbalanced magnetron sputtering with cathode arc and Hall ion source. The hard film with smooth surface is deep black. In order to improve adhesive force between the DLC film and substrate, graded interlayers, Cr+Ti+TiNC and TiNC+C have been used. The multilayer film shows good mechanics properties.

【关键词】 DLC； 多层膜； 非平衡磁控溅射； 电弧离子镀； XPS；
【Key words】 DLC； multilayer films； unbalanced magnetron sputtering； cathode arc； XPS；
【基金】 本课题受深圳市科技计划项目资金资助(编号:2004-K_1-117)
  • 【会议录名称】 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
  • 【会议名称】2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
  • 【会议时间】2006-10
  • 【会议地点】中国湖北武汉
  • 【分类号】TG174.444
  • 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、粒子加速器学会高压专业组、北京电机工程学会加速器专业委员会
打印本页
节点文献中：