【作者】 马胜利；
【机构】 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室；
【摘要】 本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的优势、进展及其在工模具领域的应用。更多还原
