采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境

【作者】 付景永； 张隐奇； 田彦宝； 徐学东； 韩晓东； 吉元；

【机构】 北京工业大学固体微结构与性能研究所；

【摘要】 <正>采用环境扫描电镜(ESEM),非导体及含水样品不经过表面喷金或喷碳处理就能直接观察。在 ESEM 样品室中,电子-离子-样品相互作用,构成了一个复杂的动态电荷环境：入射电子(PE),二次电子(SE)、背散射电子(BSE)受到气体的散射作用；气体分子被 PE、SE、BSE 电离产生正离子流向样品表面运动,并与电子中和；离子场对 SE 的场助发射作用等。因此测量及评价 ESEM 的电荷环境,可更多还原