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反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长
【机构】 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室；
【摘要】 <正>随着高速、干式切削技术的发展,要求刀具涂层在具备高硬度的同时还应具有优良的高温抗氧化性。1987年发现两种氮化物以纳米量级交替沉积形成多层结构时常伴有硬度异常升高的超硬效应, 据此,Sproul 于1996年提出了采用两种氧化物制备纳米多层膜的技术路线,以期获得同时具有高硬度和优良抗氧化性能的纳米多层膜。但按此技术路
【基金】 国家自然科学基金(No．50571062)．
- 【会议录名称】 2006年全国电子显微学会议论文集
- 【会议名称】2006年全国电子显微学会议
- 【会议时间】2006-08
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】中国电子显微镜学会