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磁控溅射MoS2-Ti复合膜的显微结构

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【作者】 李永良；

【机构】 北京师范大学分析测试中心；

【摘要】 <正>过渡金属硫化物 MoS2为层状结构,层内为强的化学键,层间为极弱的范德华力。MoS2因其分子间这种特殊的层状结构而具有良好的自润滑性能,因此常用作固体润滑剂。MoS2涂层可以大大降低工件表面的摩擦和摩损,提高工件的使用效率,延长工件的使用寿命。但纯 MoS2难以在空气中长期使用, 特别是在潮湿的空气下,MoS2极易发生氧化变质, 从而降低 MoS2润滑剂的使用寿命。磁控溅射具有

  • 【会议录名称】 2006年全国电子显微学会议论文集
  • 【会议名称】2006年全国电子显微学会议
  • 【会议时间】2006-08
  • 【会议地点】中国辽宁沈阳
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国电子显微镜学会
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