节点文献

使用SEM分析GaAs MMIC制作中的通孔工艺问题

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【作者】刘立浩；杨瑞霞；王同祥；张雄文；周瑞；

【机构】河北工业大学信息学院；电子十三所；

【会议录名称】第十二届全国电子显微学会议论文集

【会议名称】第十二届全国电子显微学会议

【会议时间】2002-08
【会议地点】中国山西太原
【分类号】TN305

【主办单位】中国电子显微镜学会

节点文献中：