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高能离子注入聚酰亚胺薄膜表面结构研究

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【作者】陈锡花；唐国翌；周惠华；朱静；

【机构】清华大学材料科学与工程研究院；

【会议录名称】第十二届全国电子显微学会议论文集

【会议名称】第十二届全国电子显微学会议

【会议时间】2002-08
【会议地点】中国山西太原
【分类号】TB43

【主办单位】中国电子显微镜学会

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