节点文献

用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

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【作者】 梁竹关李亚文肖玲王建周开邻李萍徐晓华Pay Э.И.胡问国

【机构】 云南大学物理系昆明物理研究所

【基金】 国家科学技术部资助项目;国家自然科学基金委资助项目
  • 【会议录名称】 第二届全国扫描电子显微学会议论文集
  • 【会议名称】第二届全国扫描电子显微学会议
  • 【会议时间】2001
  • 【会议地点】中国内蒙古包头
  • 【分类号】TN306
  • 【主办单位】中国电子显微镜学会
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