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透表面显微内窥半导体和集成电路的新方法

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【作者】李亚文；梁竹关；肖玲；李萍；徐晓华；王建；周开邻； РАУЗ.И.；胡问国；

【机构】昆明物理研究所；云南大学物理系；

【基金】国家科学技术部和国家自然科学基金委员会资助研究项目

【会议录名称】第十一次全国电子显微学会议论文集

【会议名称】第十一次全国电子显微学会议

【会议时间】2000
【会议地点】中国云南昆明
【分类号】TN407

【主办单位】中国电子显微镜学会

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