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TiN/TaN多层膜原子力显微镜图像的多重分形谱

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【作者】 熊刚孙霞刘文汉吴自勤

【机构】 中国科学技术大学物理系中国科学技术大学基础物理中心

【基金】 国家自然科学基金资助项目! (195 740 44 )
  • 【会议录名称】 第十一次全国电子显微学会议论文集
  • 【会议名称】第十一次全国电子显微学会议
  • 【会议时间】2000
  • 【会议地点】中国云南昆明
  • 【分类号】O484
  • 【主办单位】中国电子显微镜学会
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