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贮液式低温泵的研制

Development of Vacuum Cryopump of Liquid Accumulation Type

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【作者】 张开达钱寅虎

【Author】 Zhang Kai Da Qian Yan Hu (Fu Dan University)

【机构】 复旦大学

【摘要】 <正>一、前言获得真空的方法就是在一个规定的容器中有效地减少气相中分子数。从这一定义出发, 抽气可分为两大类: (1)把气体分子排出容器; (2)把气体分子吸附或凝聚在固体表面上。机械泵、喷射泵、扩散泵、分子泵等属于第一类;而钛泵、吸附泵、低温泵等属于第二类。利用第一类抽气设备获得的真空空间内,难免会逸入油(或水)分子。这对某些测试及

  • 【会议录名称】 上海制冷学会一九八九年年会论文集
  • 【会议名称】上海制冷学会一九八九年年会
  • 【会议时间】1989-12
  • 【会议地点】中国上海
  • 【分类号】TB655
  • 【主办单位】上海市制冷学会
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