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W18Cr4V高速钢基体化掌握了相沉积TiN工艺理论研究
【机构】 安徽工业大学；
【摘要】 研究了气体总流量、沉积温度、TiCl4蒸发温度、氮氢比等工艺参数对W18Cr4V高速钢基体TiN沉积速率的影响。确定了沉积过程分别为扩散控制区和表面过程控制区的实验条件。在表面过程控制区域,测定了本实验条件下W18Cr4V钢基体TiN化学气相沉积的表面过程表观活化能值为137.23KJ／mol。
- 【会议录名称】 安徽省装备制造业发展论坛会论文集
- 【会议名称】安徽省装备制造业发展论坛会
- 【会议时间】2003-10
- 【会议地点】中国安徽
- 【分类号】TG174
- 【主办单位】安徽省机械工程学会、安徽省机械工业协会