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重离子在固体靶中的纵向和横向分布参数的计算
【机构】 山东大学物理系；
【摘要】 <正>用离子束技术来改变固体表面及近表面层的性质是近代科学史上的一个重要发现。六十年代以来,离子束技术已成功地用于大规模集成电路,超大规模集成电路以及化合物半导体器件。随着科学技术的发展。离子注入已由半导体领域进入其它领域,如金属、绝缘体、超导。因而,注入离子在多元靶中的射程分布引人关注,因为离子注入化合物半导体、陶瓷, 磁性材料、光电子材料、聚合物等均涉及多元靶中的射程问题。
- 【会议录名称】 第九届全国核物理大会论文摘要汇编
- 【会议名称】第九届全国核物理大会
- 【会议时间】1994-10
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】O571.6
- 【主办单位】中国核物理学会