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离子束分析Mylar薄膜引起的损伤研究
【机构】 中国科学院上海原子核研究所；
【摘要】 <正>离子束分析(IBA)技术已广泛应用于半导体、金属材料的分析研究中。但是 IBA 技术用于分析聚合物材料可能会引起材料本身性质和成分的变化。本文用卢瑟夫背散射(RBS)和质子前向反冲(PFR)测量了由分析束引起的1．5um Mylar 膜成分随入射剂量的变化。结果表明,用质子作分析束时,当剂量小于5E15／cm~2时,其各成分几
- 【会议录名称】 第八届全国核物理会议文摘集（下册）
- 【会议名称】第八届全国核物理会议
- 【会议时间】1991-12
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】O484
- 【主办单位】中国核物理学会