用于表面科学研究的低能原子和分子离子源系统

【作者】 潘浩昌； 朱德彰； 陈寿面； 杨国华； 徐洪杰；

【机构】 中国科学院上海原子核研究所；

【摘要】 <正>低能原子和分子离子束在固体表面的散射是表面物理和表面化学研究的重要手段。低能离子散射(LEIS)已成为表面成分和表面晶格结构的分析工具。分子表面散射还是近几年才发展起来的,它已在表面科学领域开拓了很多令人感兴趣的重要研究课题。目前国内尚未开展这类研究。我们已建立国内第一个低能原子和分子离子与固体表面相互作用的实验装置,它包括低能离子源和超高真空靶室两个系统。更多还原