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4
薄膜生长过程研究
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【作者】
黄文
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周立勋
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魏贤华
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朱俊
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张鹰
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蒋书文
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李言荣
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【机构】
电子科技大学微电子与固体电子学院
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【会议录名称】
第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集
【会议名称】第14届全国晶体生长与材料学术会议
【会议时间】2006-11
【会议地点】中国福建福州
【分类号】O782;O614.81
【主办单位】中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会
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