直径250mm蓝宝石的生长与应用

【作者】 张明福； 韩杰才； 左洪波； 谭舒平； 汪桂根； 许承海；

【机构】 哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所；

【摘要】 蓝宝石单晶基片是现今市场化最成功、市场占有率最大的GaN发光器件的衬底材料,是多种特种环境光学器件的首选材料,也是SOS(silicononsapphire)半导体器件和超导相移器多层膜等的衬底材料。生长蓝宝石晶体需要很高的结晶温度,加工和制造能够应用的衬底或器件需要很复杂的技术条件。随着2英寸发光外延片技术的成熟,蓝宝石衬底要求向更大尺寸发展,以适应产业和成本的需求。生长蓝宝石通常的引晶方向为A、M或R向,而这些方向都与c向有一定的夹角,因此只有努力生长出更大尺寸沿上述三方向的晶体,才能满足一定尺寸c向的部件或衬底材料。更多还原