节点文献
基于透射光谱确定薄膜厚度的一种新方法
【机构】 安徽大学物理与材料科学学院；
【摘要】 报道了一种基于透射光谱曲线,利用麦夸特(Levenberg-Marquardt)和通用全局优化 (Universal Global Optimization)算法来确定薄膜厚度的新方法。分别采用德鲁特(Drude)和柯西 (Cauchy)色散模型对直流磁控溅射的Ag和ITO薄膜的透射光谱进行拟合,所得膜厚与用椭偏解谱程序拟合结果以及表面轮廓干涉仪的测量结果均保持很好的一致性。该方法也可对各种具有不同色散模型薄膜的光学常数实现准确、稳定、高效的测量。
- 【会议录名称】 中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会2006年学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会