【作者】 陈焘； 罗崇泰； 王多书；

【Author】 Chen Tao , Luo Chongtai and Wang Duoshu Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou, 730000, China

【机构】 兰州物理研究所；

【摘要】 薄膜的应力对薄膜性能有着重要的影响。考虑了各个膜层弹性模量不同的情况,建立了多层薄膜热应力的数理模型,计算了典型多层薄膜体系中应力的分布。如果使用0级近似,每层薄膜中的热应力是由基底和膜层之间的热失配决定的,而不受其它膜层的约束;而使用一级近似,每一膜层中的热应力受其它膜层的影响。这种方法为多层薄膜应力的评价提供了依据。更多还原

【Abstract】 A novel physical model was developed to simulate the thermal stress distribution of typical multilayered films with different Young’s modulus.The results show that in zero order approximation,only thermal mismatch at the film/substrate interface strongly affects the thermal stress distribution in all layers of the film;whereas in 1st order approximation,thermal stress in every layer depends on other layers.更多还原