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微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究
【作者】 李勇； 崔晶； 李向阳； 鲁培； 佟浩； 陈旭鹏；
【机构】 清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所；
【摘要】 提出一种微细冲压加工和微细电火花加工交叉结合的微细阵列型孔复合加工方法。尺寸较大的过渡型腔采用微细冲压加工,以提高加工效率和保证加工尺寸的一致性;型孔喷口的最小特征尺寸采用微细电火花逐层扫描加工得到。设计制作了专用的微小型腔冲压实验装置,从机构设计上保证加工工艺对微小型腔冲压深度的精确控制。进行了非圆截面阵列微细型孔的加工实验,验证了所提出的工艺方法的可行性和合理性。
【基金】 国家863计划资助课题:非硅MEMS加工技术及其应用研究(2004AA404260)。
- 【会议录名称】 2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑
- 【会议名称】2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议
- 【会议时间】2005-11
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TG661
- 【主办单位】中国机械工程学会特种加工分会