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溶胶-凝胶波导环形谐振腔的实验研究
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 采用简单的有机无机混合的溶胶-凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料,并利用其制备了平面波导环形谐振腔器件。波导结构呈现倒脊形,其制备工艺首先是利用感应耦合等离子体刻蚀技术在二氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽,然后再沉积波导薄膜。利用光谱仪对器件的传输特性进行了测量,观测到自由光谱范围0．178nm周期性谐振现象。
- 【会议录名称】 全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议论文集
- 【会议名称】全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议
- 【会议时间】2005-11
- 【会议地点】中国广东四会
- 【分类号】TN252
- 【主办单位】中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会、中国通信学会光通信委员会、中国电子学会通信学分会