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垂直靶向脉冲激光沉积制备氧化锌纳米薄膜

Preparation of Zinc Oxide Nanometer Thin Films by Vertical Target Pulsed-Laser Deposition

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【作者】 樊丽权； 王宇威； 牛海军； 白续铎；

【Author】 L. Fan, Y. Wang, H. Niu and X. Bai※ School of Chemistry and Materials Science, Heilongjiang University, 150080, Harbin

【机构】 黑龙江大学化学化工与材料学院；

【Abstract】 Zinc oxide thin films on glass substrates were prepared by using vertical target pulsed-laser deposition (VTPLD) method at room temperature in atmosphere. The surface morphology and structural information of the films were investigated by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD). The result showed that ZnO nanometer thin film and ZnO microporous thin film were obtained under different laser power, and which present different photoluminescence intensity.

【关键词】 垂直靶向脉冲激光沉积； ZnO纳米薄膜； ZnO微纳米孔薄膜； 光致发光；
  • 【会议录名称】 中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集（上册）
  • 【会议名称】中国化学会第二十五届学术年会
  • 【会议时间】2006-07
  • 【会议地点】中国吉林长春
  • 【分类号】O614.241
  • 【主办单位】中国化学会
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