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气相沉积CVD合成纳米氮化钛反应的量子化学研究
【机构】 厦门大学化学化工学院；
【摘要】 <正>金属氮化物是一类重要的应用材料,氮化钛由于具有许多奇特的性质而受到广泛关注, 例如它的超硬度,良好的导电能力和光学性能都使它大量应用到工业和商业领域。目前国际上普遍采用气相沉积法(CVD)制备。高质量的TiN粉末与薄膜可以在一个高温下 (900-1000℃)通过TiCl4和N2、H2合成,如果用氨作氮源,温度可以降低到500-700度。因此,揭示和阐明相应的反应机理对材料制备合成具有重要意义。Cross et al.研究了单体
- 【会议录名称】 中国化学会第九届全国量子化学学术会议暨庆祝徐光宪教授从教六十年论文摘要集
- 【会议名称】中国化学会第九届全国量子化学学术会议
- 【会议时间】2005-10
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】O614.411
- 【主办单位】中国化学会