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低温水泵在超高真空排气系统中的应用
【机构】 中国科学院电子学研究所；
【摘要】 本文介绍了一种新型超高真空辅助设备—低温水泵。采用低温水泵与分子泵、离子泵相结合的方式,应用于大功率微波器件超高真空排气系统中,可提高系统对水蒸气的抽气能力,使管子获得我们所需要的清洁超高真空。其抽气机理及特性在文中有所论述。
- 【会议录名称】 第八届真空技术应用学术年会论文集
- 【会议名称】第八届真空技术应用学术年会
- 【会议时间】2005-04
- 【会议地点】中国厦门
- 【分类号】TN108
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会