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1米长弯的椭圆形截面陶瓷管内外表面镀膜工艺调研报告
【作者】 蒋道满；
【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；
【摘要】 <正> 国家某大科学工程部分超高真空室工作环境重复频率高,磁场瞬间变化率大,选用金属材料变化的磁场,产生涡流不仅引起热负荷,还会引起附加磁场,以至干扰正常磁场的分布。因此,该部分真空室必须采用陶瓷材料制备,考虑国内成熟工艺和制造技术,选用95瓷比较合适。同时还要求陶瓷管内壁镀上10nmTiN膜,外表面及管两端瓷面需要镀Ti膜。结构见图一。陶瓷管是椭圆形内径,长轴230mm,短轴160mm,管中心弯转半径约8米,弯转弧度6~0,直线长度1米。当然陶瓷管的制备,内壁镀TiN薄膜、RF屏蔽等,每道工序都有一定的难度。本文主要介绍镀膜工艺的调研报告。
- 【会议录名称】 TFC’05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’05全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2005-09
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、大连理工大学三束材料改性国家重点实验室