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强流脉冲离子束模型及辐照靶材能量沉积的模拟研究
【作者】 吴迪； 宫野； 刘金远； 王晓钢； 刘悦； 马腾才；
【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室；
【摘要】 <正> 近年来,强流脉冲离子束(IPIB)因其优良的性能,如能量利用率较高、设备占用体积小、可以进行大面积薄膜制备等,在半导体离子注入、材料表面改性及纳米粉的制备等研究领域得到广泛应用。在这些过程中,束流分布及其在靶材中沉积的能量分布是研究的基础。根据我们三束材料改性国家重点实验室从俄罗斯引进TEMP Ⅱ型加速器实测的磁绝缘二极管(MID)的加速电压波形及法拉第杯检测到的MID焦点处离子流密度波形,对其进行拟合,得到高斯脉冲分布模型,以此为基础采用Monte Carlo方法模拟了离子在铝靶内沉积的能量,得到了一个脉冲内靶材内沉积的能量的时空演化规律。TEMP Ⅱ型加速器产生的IPIB中即
- 【会议录名称】 TFC’05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’05全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2005-09
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、大连理工大学三束材料改性国家重点实验室