【作者】 代明江； 林松盛； 候惠君； 李洪武；
【机构】 广州有色金属研究院；
【摘要】 综述了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能以及在工模具上的应用情况。更多还原
