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硅单晶炉用环形永磁磁体设计
Design of Permanent Magnetic Field for Mono-crystal Furnace
【Author】 Liu Fugui, Yang Qingxin, Xu Yuesheng (Province-Ministry Joint Key Laboratory of Electromagnetic Field and Electrical Apparatus Reliability, Hebei University of Technology , Tianjin 300130, China )
【机构】 河北工业大学电磁场与电器可靠性省部共建重点实验室;
【摘要】 采用有限元法设计了硅单晶炉用永磁磁体。实际测量表明,设计结果较好地满足了单晶生长要求。
【Abstract】 A permanent magnetic field for mono-crystal furnace was designed. Finite element method was used to calculate the permanent magnetic field. Through applying on a model, the permanent magnetic field has good performance in mono-crystal growth.
【关键词】 硅单晶炉;
环形永磁磁体;
有限元法;
【Key words】 mono-crystal furnace; permanent magnetic field; finite element method;
【Key words】 mono-crystal furnace; permanent magnetic field; finite element method;
【基金】 国家863计划项目(2002AA001029)
- 【会议录名称】 2005年中国固体科学与新材料学术研讨会专辑
- 【会议名称】2005年中国固体科学与新材料学术研讨会
- 【会议时间】2005-03
- 【会议地点】中国广西北海
- 【分类号】TM273
- 【主办单位】中国稀土学会固体科学与新材料专业委员会