MEMS超声换能器的多域耦合分析

【作者】 安鹏； 苑伟政； 邓进军；

【机构】 西北工业大学微/纳米系统实验室；

【摘要】 <正> MEMS超声换能器在医学成像、水下成像、无损检测、微流体研究等方面有着重要的应用。采用MEMS技术已经制造出了压电式的、电容式的超声换能器以及光纤式的超声接收阵列。由于MEMS超声换能器在电-声能量的转换过程中,涉及到多个物理域的相互作用,因此在设计各类换能器时,有必要对其声-结构、静电-结构、流体-结构耦合行为进行分析,从而确定合理的结构参数并进行设计优化。本文对所设计的压电式和电容式两类超声换能器的灵敏度、工作频率等关键参数进行了理论分更多还原