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薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究
【机构】 清华大学工程力学系；
【摘要】 本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测。检测中通过应用纳米压痕和微区域放电技术,制作微标记阵列和微孔洞缺陷,并在数字化显微系统下完成微区域点阵变形检测,进而实现微区域小变形测量。论文还研究了微标记点的信息提取与表征方法,讨论了微标记法在薄膜材料性能检测中的可行性及其检测性能。
【基金】 研究获国家自然科学基金项目10372049,10072031,10232030;国家重点基础研究专项经费(2004CB619304)
- 【会议录名称】 北京力学会第11届学术年会论文摘要集
- 【会议名称】北京力学会第11届学术年会
- 【会议时间】2005-01
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O484
- 【主办单位】北京力学会