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安装和使用LZL-203D四极质谱计遇到的几个问题
【机构】 北京大学信息科学技术学院电子学系； 北京北分瑞利分析仪器公司；
【摘要】 科学研究和生产技术的发展显示出需要了解残气成分及其变化,而四极质谱计具有体积小、重量轻、不需要磁场、操作方便等一系列优点,再加上当代微电子技术的飞速发展,使四极质谱计具有了更广阔的应用领域。
- 【会议录名称】 中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
- 【会议时间】2004-11
- 【会议地点】中国杭州
- 【分类号】TH843
- 【主办单位】中国真空学会