氦质谱检漏仪校准真空校准漏孔

【作者】 周起春； 陈旭； 王立功；

【机构】 中国计量科学研究院； 清华大学电子工程系；

【摘要】 为了指导渗氦型真空校准漏孔的制造,必须定量研究其物理性能,确定结构等因素对漏率造成的定量影响,这就必须解决大量的校准工作。为此,提出了一个建立相对真空漏率标准的方案:用一台高稳定度、高分辩率并具有优良线性的氦质谱检漏仪,配置由计量技术机构精确校准的高稳定度真空校准漏孔作为参考标准,即可实现对渗氦型真空校准漏孔(或真空通导漏孔)进行高效、准确的比较校准。参考标准漏孔及其实验用漏孔为VCL型真空校准漏孔,实验使用清华大学电子工程系PREIFFERVACUUM氦质谱检漏仪,读数精度为0.01Pa.m3/s(精确到小数点后两位)。做了三个典型实验:仪器短期稳定性,同日多次校准重复性,隔日多次校准重复性及互校。实验结果为:仪器具有极好的短期稳定性,等精度多次校准重复性为±1%,用七只漏孔与国防科工委成都计量站进行互校,其互校极限偏著均<±4%。对实验结果作了分析,说明这一方法很适合作相对真空漏率标准,以满足大量漏孔的校准。更多还原