【作者】 李香庭； 曾毅； 钱伟君； 高建华；
【机构】 中国科学院上海硅酸盐研究所；
【摘要】 <正> 扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象。本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,例如更多还原
