钒的氧化物薄膜微观结构的研究

【作者】 潘梦霄； 曹兴忠； 孙建忠； 王宝义； 马创新； 周春兰； 魏龙； 李养贤；

【机构】 河北工业大学材料科学与工程学院； 中科院高能物理研究所核分析技术重点实验室；

【摘要】 采用直流磁控溅射,通过控制氧分压溅射得到取向性很好的V₂O₅薄膜,并经过退火得到VO₂薄膜。XRD的结果表明,在氧分压增大时V₂O₃薄膜沿c轴垂直方向取向,（001）面平行于衬底生长,并在退火后得到的VO₂薄膜中延续了（001）的取向。SEM照片中观察到细长呈针状的V₂O₅晶粒层层平铺于衬底,和退火后长大呈棒状的致密的VO₂薄膜。用傅立叶变换红外光谱分析薄膜的分子结构和薄膜的晶格转化过程。更多还原