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GCr15轴承钢表面AlN薄膜合成技术研究
【作者】 汤宝寅; 姜波; 王浪平; 王小峰; 甘孔银; 刘洪喜; 王宇航; 于永澔; 王松雁;
【机构】 哈尔滨工业大学材料学院 现代焊接生产技术国家重点实验室;
【摘要】 本文描述了用金属等离子体浸没离子注入与沉积(McPIII&D)技术,在GCr15轴承钢表面制备AIN薄膜。在研究过程中首先对处理工艺参数进行了优化选择,通过调节主弧脉冲宽度与基体偏压脉冲宽度比,寻求理想的注入与沉积比例,并对被处理与未被处理的CCr15轴承钢样品进行了表面分析测试。测得的XRD谱图表明:在样品表面形成了弥散强化新相AIN膜。摩擦磨损性能测试结果表明;被处理样品的摩擦系数明显下降,耐磨时间显著增加;显微硬度测量也表明,轴承钢样品表面的显微硬度平均提高1.5倍。通过XRD谱图的分析,对表面强化机理进行了讨论。并得出注入层内AIN强化相的存在是耐磨性和显微硬度提高的主要原因。在本试验的几组参数中最佳气压为7.5×10-2Pa,最佳脉宽比(主弧脉宽与注入脉宽之比)为1200:40.
【关键词】 金属等离子体浸没离子注入与沉积;
抗磨性;
显微硬度;
AIN薄膜;
- 【会议录名称】 第五届全国表面工程学术会议论文集
- 【会议名称】第五届全国表面工程学术会议
- 【会议时间】2004-04
- 【会议地点】中国西安
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会