【作者】 张宇翔； 冯团辉； 杨仕娥； 陈永生； 李瑞； 郭敏；
【机构】 郑州大学物理工程学院；
【摘要】 该文概述了目前世界上常用的利用晶化技术制备多晶硅薄膜的方法,这些技术包括直接固相晶化和激光晶化等,并讨论了它们各自的特点。更多还原
