CVD金刚石用石墨衬底

【作者】 罗廷礼； 胡法竹； 刘树林；

【机构】 河北省激光研究所； 哈尔滨电碳研究所； 焦作市双林新型材料有限公司；

【摘要】 要想得到自支撑的金刚石膜,在化学气相沉积过程中离不开衬底。人们虽然在金刚石、Si、Mo、Ta、Ti、W、WC、SiO2、AL2O3、等材料上成功的沉积出金刚石薄膜,但用于沉积自支撑金刚石厚膜的材质多是W和Mo。这两种材料与C虽然容易形成WC和MoC过渡层,有利于形核后金刚石膜的生长,衬底对膜也有着足够的轴向附着力。对直径为φ66mm的Mo衬底来讲,关机前后收缩量为0.363mm,这将沿径向对金刚石膜施加一个很大的压应力,极易造成金刚石膜的崩裂和解体。如果衬底处理不当,不仅膜过早脱落达不到要求厚度,甚至附着在衬底上,脱不下来;或者衬底使用一段时间后,上界面结晶老化层连同过渡层随膜一块脱落形成麻面。此时衬底就必须经机加工后才能再用。再者W、Mo属高温难熔材料,成本高,且不易加工。更多还原