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LiNbO3单晶上制备高择优取向铝薄膜及其结合力研究

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【作者】 李冬梅； 陈菁菁； 潘峰；

【机构】 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室；

【摘要】 <正> 本文研究了直流磁控溅射技术在64°Y切LiNbO3单晶基片上制备高取向的铝薄膜的微结构特征,以及沉积温度对铝膜微观结构与相关性能的影响。实验结果表明,薄膜的晶体取向强烈依赖于基片温度,而LiNbO3与Al间的结合强度

【关键词】 铝薄膜； 晶体取向； 结合力；
  • 【会议录名称】 科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集
  • 【会议名称】中国科协第五届青年学术年会
  • 【会议时间】2004
  • 【分类号】TB383
  • 【主办单位】中国土木工程学会
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